×

Вы находитесь на архивном сайте ИНХ СО РАН. Сайт закрыт в связи с неактуальностью, представленной на нём информации.
Актуальный сайт расположен по адресу: www.niic.nsc.ru

Логотип ИНХ СО РАН

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева

Сибирского отделения Российской академии наук

Новости

10 февраля 2014 года →  Наука

Научный семинар ИНХ СО РАН 13 февраля 2014 г.: к.х.н. Косяков Виктор Иванович

13 февраля 2014 г., четверг, 11-00, конференц-зал, научный семинар ИНХ СО РАН

к.х.н. Косяков Виктор Иванович

ИНХ СО РАН

CVD диаграммы: соотношение между теорией и экспериментом

В докладе рассматриваются вопросы термодинамического моделирования процессов осаждения пленок и покрытий из многокомпонентной газовой фазы (chemical vapor deposition) и графического отображения результатов моделирования в виде CVD диаграмм. Обсуждается взаимосвязь между фазовыми и CVD диаграммами на примере систем Ru-C-O-H и Si-C-N-H-He(Ar). Анализируются проблемы построения CVD диаграмм при недостатке термодинамической информации. Обсуждаются возможности использования результатов исследования состава и строения пленок карбонитрида кремния SiCxNy для проверки адекватности термодинамического моделирования.

Все новости