Логотип ИНХ СО РАН

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева

Сибирского отделения Российской академии наук

Электронная микроскопия и энергодисперсионная рентгеновская спектрометрия

JEOL JSM 6700F

Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F

Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6700F

Назначение

Исследование морфологии поверхности и элементного состава образцов (все элементы от Be до U).

Технические характеристики

Увеличение min ×25 max ×650000
Разрешение 1 нм
Ускоряющее напряжение 0.5 – 30 кВ
Управление Машинное
Вывод изображения На компьютер
Детекторы Вторичных электронов, рентгеновских лучей
Катод Полевой эмиссии
Рабочее расстояние 1,5 – 25 мм
Пределы перемещения X: 70 мм; Y: 50 мм
Наклон образца От -50 до 600

Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава
TM-3000

Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000

Настольный сканирующий электронный микроскоп с энергодисперсионным анализатором химического состава TM-3000

Технические характеристики

  • Высокий вакуум: диафрагменный насос + турбомолекулярный насос.
  • Предельное разрешение – 30 нм.
  • Предельное увеличение – 30 000, оптимальное увеличение - 5 000.
  • Имеется режим стока заряда при пониженном вакууме для исследования диэлектриков.

ЭДА анализатор Bruker Nano позволяет полуколичественно определять распределение основных и неосновных элементов (от B до U) в «точке», вдоль линии и по площади.

Недопустимо исследовать магнитные образцы и образцы, содержащие летучие компоненты.

Примеры измерений, выполненных методом сканирующей электронной микроскопии

Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000

Пленка Ni/Si (100) увеличение х650000

Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000

Пленка BCN/Ni/Si(100) увеличение х10000

Элемент микросхемы (в псевдоцвете)

Элемент микросхемы (в псевдоцвете)

Энергодисперсионный анализ ВТСП

Энергодисперсионный анализ ВТСП